FinFET 최양규(YK Choi)

FinFET 장인, 최양규

  이번 글은 첫 순서. FinFET 장인 최양규 교수님입니다. https://sites.google.com/view/nobelab/members/professor 

최양규 교수님은 KAIST에 2004년에 부임하셨습니다. 그리고 2006년에 3nm Tr을 개발하셨습니다. 당시 세계에서 가장 작은 Tr이었고, 한국이 들썩들썩했습니다. 2022년 강대원 상을 수상하셨습니다. 세계 반도체 소자 연구의 한 축을 이끄셔서-, 작은 크기의 Tr, DRAM과 NAND Flash를 결합한 memory 구조 등을 연구하셨습니다. 또 Bio-응용 연구도 많이 하셨습니다. 

  1991년부터 1997년 동안 현대전자 (Hynix의 통합 전)에 근무하셨습니다. 그리고 나서 University of California Berkeley에서 석사와 박사를 하셨습니다. 반도체의 지존 Berkeley에서요! 

  그 반도체의 업적이 FinFET입니다. FinFET은 16nm 이후로 대세인 기술입니다. 어마어마하게 강력한 기술이지요. Intel은 자기네가 처음이라 주장하는 부분이 있고, 삼성전자도 자기네가 처음이라 주장하고, TSMC는 그 나름의 주장이 있습니다. 

  연구자로 살펴보면 과학기술정보통신부 장관 이종호 교수님이 있고, Berkeley Chenming Hu 교수님이 있습니다. 그리고 최양규 교수님은 Chenming Hu 연구팀에서 대학원생 시절 참여하셨습니다. 그리고 교수로써 2006년 3nm Tr (이것도 FinFET 구조)를 개발하셨습니다.  일본은 일본 대로 자기네가 기여한 부분을 주장합니다. 

  저는 <Tr 75>책에서 최양규 교수님의 사진을 발견하고, 너무 반가웠습니다.  책 12장 FinFET은 Berkeley Chenming Hu 교수님이 쓰셨습니다. 본인 소개 사진을 Obama 대통령한데 medal 받는 걸로 하실 만큼, 대단한 분입니다. 반도체 Tr 구조의 한 획을 그은 FinFET, 그리고 회로 시뮬레이션의 기틀 SPICE BSIM 을 개발하신 분입니다. 

  그림12.5에 여러 인물이 나온 사진을 보며~ 저로서는 많은 의문이 풀렸습니다. 신기하기도 했구요. 3장의 그림에서 6명을 언급합니다. 15명이 나온 윗 사진에서  Digh Hisamoto 1분. 23명이 나온 가운데 사진에서 Cathy Huang과 최양규 (YK) Choi 두 분, 3분이 나온 사진: Jeff Bokor 교수, Tsu-Jae King Liu 교수, C. Hu 교수 본인. 

  여러 교수와의 협력 연구인 동시에, 상당한 수의 대학원생이 참여한 project입니다. 반도체 소자를 ‘만들어서 결과를 봐야하죠. 여러 학생이 참여하고- 만들고 실험하는 데 상당한 돈도 들어갑니다. 

  DARPA (미 국방성) project였습니다. 몇 년 짜리 과정이었고, 먼저 엄청난 목표를 세우고, 앞 단계 (일단 해볼 수 있는 걸) 해보고서- 그 결과를 토대로, 이것저것 바꾸어 다음 단계를 추진하는 그런 project였습니다. 1996년에 설정한 초기 목표가 ‘25nm Switch’였다네요. 그걸 Xuejue Huang과 YK Choi때 20nm gate-length FinFET 까지 만들어 버립니다.   

  연구팀 내부에서의 협력과 경쟁, 그것이 분명 있었습니다. 또한 여러 나라와 여러 회사, 그리고 여러 연구팀이 참여하였습니다. 이들 level에서도 협력과 경쟁이 있었습니다. 이 기술은 DARPA 미-국방성 project가 되기 전에 일본 Hitachi에서 DELTA란 구조로 비슷한 개념이 연구된 바 있습니다. Digh Hisamoto는 Hitachi에서 DELTA 제작한 사람으로서, 방문 연구원으로 초기 Berkeley FinFET 연구에 참여하였습니다. 

  IBM, AMD, TSMC, Intel… 다들 앞서거니 뒤서거니 FinFET으로 전향했습니다. (참고로 Intel이 사골처럼 우려먹은 16/14nm도 FinFET구조입니다. Intel조차도 14 -> 10 nm 갈 때 엄청난 고생을 했지요.) 

  글 처음 부분의 사진은 2023년 8월에 오랜만에 찾아뵙고 찍은 사진입니다. 

  반도체를, 반도체 소자 물리를, Device Physics를, 양자 역학 Quantum Physics를 이 분께 배웠습니다. 슈뢰딩거의 (살았는지 죽었는지 궁금한) 고양이와 고양이가 타고 오르내리는 사다리를 배웠습니다.